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  • FOUP清洗机洁净清洗工艺专利
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  • 全自动POUP清洗机专利
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  • 全自动晶圆盒洁净存储工艺专利
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  • 洁净能力获得国际第三方瑞士SGS专业检测机构认证
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  • SEMI国际半导体协会-德国 TUV SEMI S2 安全认证
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