产品范围:FOUP / PLP FOUP/ FOSB / SMIF Pod / Cassette / Shipping Box / 晶舟盒 / 晶圆出货盒 / 蛋糕盒 / 花篮清洗 / 片盒清洗 / 玻璃清洗 / 基板清洗 / 载具清洗 / 半导体部件等超微洁净清洗,4寸 / 5寸 / 6寸 / 8寸 / 12寸 全部覆盖,二手晶圆盒:二手FOSB / 出货盒等,等其它特殊类型尺寸支持定制。
芯片制程工艺:满足14nm工艺制程,7nm~10nm制程可进行定制,解决微粒子污染问题,提升芯片制造良率。
研发技术团队重点专研洁净工艺技术、清洗制程逻辑技术、分子层干燥技术,芯洁半导体在3个技术方面完成了底层核心技术数据构建。并总结国际经验,搭建优质硬件环境主导自研发、自验证-聘请国际第三方机构测试认证后再推行市场为基础,解决了国内半导体行业在微粒子污染方面的技术壁垒,打破了国内长期依赖进口的洁净清洗工艺装备,并形成了芯洁半导体在小众特色设备独有的技术优势。
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芯洁半导体