设备特点：
机型可选AH300A 3个清洗腔，AH300B 2个清洗腔

1. AH300机型针对12寸FOUP、FOSB 的高洁净度清洗要求使用
2. FOUP、FOSB 每次单独1个高压清洗
3. 设备内部10级洁净环境，清洗腔室1级洁净环境
4. 红外真空干燥腔室去除气态分子污染物AMC、VOCs
5. 二进一出Loatport，OHT天车交互系统，N2 Purge系统
6. 机器人全自动化搬运、拆关FOUP、FOSB
7. 湿度小于1%
8. FOUP、FOSB内部残片检测系统，确保整机清洗安全
9. 清洗效率 30颗/小时
10. 测量系统，FOUP/FOSB清洗完成后进行核心尺寸测量，
11. FOUP/FOSB 清洗次数记录，使用寿命管理
12. SECS/GEM 300通讯