3. 洁净能力获得瑞士SGS专业认证，去除微粒子污染物Particle、金属离子、VOCs

4. 设备获得SEMI国际半导体协会-德国TUV SEMI S2 安全认证

5. 耗能优势：水/电/气耗能均低于进口设备，总功率39KW，平均运行功率22.5KW

6. 快速干燥和去除VOCs：IR红外加热+热风加热-双加热系统快速到达工艺温度，产能提升30%

7. 自研在线式水平加热罐系统，无水垢产生，加热快，流量高，一键自清洁功能，无耗材备件

8. 洁净优势：工艺洁净过滤系统，保证整机完全1级洁净清洗环境

9. 功能优势：可选配添加清洗剂功能

10. 产能优势：放入12组FOUP/FOSB（进口机型放入8组）

11. 备件成本低（进口机型价格昂贵，周期长）

12. 完全密闭清洗洁净腔室，腔内静电消除系统