设备符合 Class 3 至 Class 10 洁净室使用标准

具备maping功能，采用Robot激光检测传感器，扫描检测精准。

Cycle Time约 8-14 Sec/wafer (不同产品差异)

配置力矩传感器，可设定推送阻力，精准控制推力并实现异常报警。

人机交互界面，方便作业操作。

运动控制采用全封闭闭环控制，符合半导体晶圆作业要求。

采用抗静电材质，运动部件材质符合半导体晶圆作业要求。

可选配加装FFU，[敏感词]可满足Class 1至Class 3级。

可选配加装RFID，配合EAP/MES作业。

可选配加装扫码枪。

可选装加装离子风枪

可根据客户实际需求客制化。